OXIDE 的 Frequad 系列是一系列連續(CW) 單頻深紫外激光器,是將 OXIDE 的波長轉換技術、非線性晶體技術和獨特的高速精密音圈馬達 (VCM) 激光器相結合的成果,從而實現了連續穩定運行。原有的 Frequad 激光器(Frequad-HP、Frequad-M、Frequad-C)已有 20 多年的成功歷史,新增加的產品(Frequad-M57、Frequad-W)是該系列的延伸,武漢新特光電是 OXIDE 在中國的指定經銷商。
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OXIDE 的 Frequad 系列是一系列連續(CW) 單頻深紫外激光器,是將 OXIDE 的波長轉換技術、非線性晶體技術和獨特的高速精密音圈馬達 (VCM) 激光器相結合的成果,從而實現了連續穩定運行。原有的 Frequad 激光器(Frequad-HP、Frequad-M、Frequad-C)已有 20 多年的成功歷史,新增加的產品(Frequad-M57、Frequad-W)是該系列的延伸,武漢新特光電是 OXIDE 在中國的指定經銷商。
257.5nm連續激光器(Frequad-M57)是連續(CW)單頻深紫外激光器,是OXIDE波長轉換技術和非線性晶體技術相結合的產物。傳承日本OXIDE品牌深厚的技術底蘊與嚴格的制作工藝,能夠保證產品的優異性能以及優秀品質。其輸出功率覆蓋區間0.3w-1w,可適配多種激光能量需求;光束質量良好,光束質量因子 M2<1.2,能量高度匯聚,光斑均勻精準,可應用于精細加工、科學研究等范疇。運行時,因為優異的性能,需要為其配置水冷裝置,確保設備在各種工作環境下仍可以保證穩定輸出。由于其波長與氣體激光器氬離子激光器的二次諧波(SHG)相同,專為現有氣體激光器用戶或該波長的新用戶設計,不易操作和維護。它不僅穩定,而且高度可靠。因此,當應用于光刻設備、檢測工具和現場流量計時,它可以做到降低維護頻率和運行成本。它基于Frequad系列(Frequad HP、Frequad-M、Frequad-C)成功的基礎上,應用了OXIDE的全部核心技術。作為具有266nm深紫外(DUV)波長的連續(CW)單頻波長轉換激光器已有20多年的歷史.

主要特點
使用超高純度BBO晶體:OXIDE專有BBO晶體的卓越品質使該系統作為一個設備在0.3-1W的輸出功率下運行了3000多個小時。由于晶體退化最小,高光束質量保證了長時間的穩定運行。
應用精密的伺服鎖定技術: 獨特的高速、高精度音圈電機(VCM)伺服執行器驅動激光器穩定的CW運行。
功耗極低: 高效的波長轉換激光系統能夠實現低于340W的極低功耗操作。
典型應用
半導體檢測和光刻設備
拉曼光譜、光電子能譜
光致發光
磁盤主控
光纖布拉格光柵制造
生物技術
技術參數
| 波長 | 257.5nm |
| 輸出功率 | 1.0, 0.7, 0.5, 0.3W |
| 線寬 | <0.005pm |
| 消光比 | >100:1 |
| 光束質量 | TEM00, M2 < 1.3 |
| 偏振 | 垂直、線性 |
| 電源 | AC100-240V, 50/60Hz |
| 電耗 | <340W |
| 冷卻 | 水冷 |
| 尺寸 | 350 x 590 x 124mm |
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