日本Oxide公司
Oxide Corporation成立于2000年，總部位于日本的山梨市，專注于激光光學(xué)領(lǐng)域的產(chǎn)品開發(fā)。Oxide相信，即使作為一家小型風(fēng)險投資公司，也能發(fā)現(xiàn)隱藏的光明禮物，為下一代和社會做出貢獻(xiàn)。在這種精神的激勵下，Oxide選擇開發(fā)和制造具有高功能性的光學(xué)單晶，器件和模塊，探索光的無限潛力。
日本Oxide公司的主要產(chǎn)品包括單晶、波長轉(zhuǎn)換激光器、深紫外激光器、光學(xué)元器件和測量系統(tǒng)。其中晶體產(chǎn)品包括LiNbO3，LiTaO3，GSO，LGSO, CLBO，LBO，LB4等，能夠根據(jù)用戶的需求摻雜MgO等多種材料。激光器類最主要的產(chǎn)品是266nm連續(xù)激光器，功率從20mW~2W不等，主要型號包括FQ50-20/-10/-07，F(xiàn)QM-10/-07/-05/-03，F(xiàn)QC-50和FQC-20。
其中Frequad-M57系列的257.5nm連續(xù)激光器是連續(xù)單頻深紫外激光器，是OXIDE波長轉(zhuǎn)換技術(shù)和非線性晶體技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物，由于波長與氣體激光器氬離子激光器的二次諧波（SHG）相同，專為現(xiàn)有氣體激光器用戶或該波長的新用戶設(shè)計，不易操作和維護。不僅穩(wěn)定，而且高度可靠。因此，當(dāng)應(yīng)用于光刻設(shè)備、檢測工具和現(xiàn)場流量計時，它可以做到降低維護頻率和運行成本。作為具有266nm深紫外（DUV）波長的連續(xù)波（CW）單頻波長轉(zhuǎn)換激光器已有20多年的歷史，基于Frequad系列（Frequad HP、Frequad-M、Frequad-C）成功的基礎(chǔ)上，應(yīng)用了OXIDE的全部核心技術(shù)。Frequad-M57系列的257.5nm連續(xù)激光器輸出功率覆蓋區(qū)間0.3w-1w，可適配多種激光能量需求，光束質(zhì)量良好，光束質(zhì)量因子 M2<1.2，能量高度匯聚，光斑均勻精準(zhǔn)，可應(yīng)用于精細(xì)加工、科學(xué)研究等范疇。運行時，因為優(yōu)異的性能，需要為其配置水冷裝置，確保設(shè)備在各種工作環(huán)境下仍可以保證穩(wěn)定輸出。
